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太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300C

簡要描述:DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優質的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發的,作為高級工業金相顯微鏡使用???/p>

  • 產品型號:DJM-300C
  • 產品產地:
  • 更新時間:2023-02-23
  • 訪  問  量:403

詳細介紹

 
一、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的特點和用途: 
          DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優質的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發的,作為高級工業金相顯微鏡使用??蛇M行明暗場觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。系統配置了優質無限遠光路系統、三目透反射顯微鏡DJM-300C、500萬高清晰數字攝像頭及圖像測量管理軟件,可對太陽能電池板圖像進行檢查、拍照、測量、編輯和保存輸出等多種操作。是太陽能電池硅片檢查的理想儀器。

性能特點:

1、采用了較先進的光學顯微鏡與現代成像分析融為一體的圖像測量技術。

2、可對太陽能電池硅片進行檢查、拍照、測量、保存、輸出等多種操作。

3、系統配置了優質無限遠光路系統、大尺寸工作臺的三目透反射顯微鏡。

4、可以測量太陽能電池片裂紋長度,崩邊長度角度,印刷位移角度偏差。

5、可以測量主、副柵線,背電極的寬度、均勻度、柵線間距離及副柵線 到電池邊的距離,柵線、斷線長度,斷線缺損和變色的面積。

6、可以檢查太陽能電池表面顏色色差、絨面色斑亮斑,裂紋,崩邊,掉 角缺口,印刷偏移主副柵線、背電極的斷線,缺損,扭曲,變色等現象。

7、可對雜質、殘留物成分進行分析。雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等。


三、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的參數及配置:

 稱

參數規格

觀察鏡筒

鉸鏈式三目觀察筒,30度傾斜,100%通光攝影。瞳距調節范圍:50-75mm,視度可調

目鏡

大視野目鏡WF10X(Ф22mm)    

大視野目鏡WF15X(Ф16mm)  (選購)

大視野目鏡WF20X(Ф12mm) (選購)

WF10X(Ф22mm)大視野分劃目鏡(0.10mm/格)

無限遠長工作距離平場消色差物鏡

明視場/暗視場金相物鏡

PL L40X/0.60 BD 工作距離:3.0 mm

微分干涉物鏡(DIC)

LMPlan5X/0.12 DIC 工作距離:18.2 mm

LMPlan10X/0.25DIC 工作距離:20.2 mm

LMPlan20X/0.35DIC 工作距離:6.0mm

調焦系統

粗微動同軸調焦機構,微動格值:2μm,左調焦帶鎖緊裝置,右調焦帶限位裝置

載物臺

雙層機械式移動載物臺,外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍75mmX50mm.

載物板

透光玻璃載物板,大?。?/font>97*76mm

轉換器

五孔內彎式物鏡轉換器(滾珠內定位)

偏光裝置

插入式起偏、檢偏裝置,可360度旋轉檢偏鏡,起偏和檢偏均可移出光路

DIC調節系統

適用于 LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X  DIC物鏡

暗場裝置

推拉式暗場觀察拉桿,快速明視場暗視場觀察轉換

落射照明系統

12V50W鹵素燈,亮度可調

落射式柯勒照明系統,內置視場光欄,孔徑光欄調節

可拆卸式燈箱,雙引腳插入式燈座,燈箱外有燈絲位置移動旋鈕

轉盤式藍、黃、綠、磨砂濾色片組

透射照明系統

12V30W 鹵素燈,亮度可調

阿貝聚光鏡NA.1.25,可調孔徑光欄,中心可調,可上下升降

集光器:可調視場光欄

藍色和磨砂玻璃濾色片

電腦攝像系統

CK-500彩色攝像機: 分辨率:2560×1920,功耗小,連接簡單:USB接口, 圖像質量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩定,所有攝像機均經過長時間測試 ,體積小,安裝方便,采集方式:連續采集,圖像大小可調,增益調節,曝光時間調整,增益調。

四、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡系統的組成 

           1、微分干涉顯微鏡                  2、攝像機接口

 3、彩色數字攝像CK-500             4、計算機(選購)

 

五、儀器選購件:

1、無限遠長距平場消色差明暗場物鏡: PLL50X; PLL60X ;PLL80X;PL100X

2、攝影接口:0.5X攝像接口

3、攝像機: CK-1600像素攝像機,進口CCD芯片攝像系統

4、數碼相機拍照系統:包含數碼相機及專業相機接口

5、金相分析軟件DM-3000





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